Verfahren zur Erhöhung des Abscheidungsanteils chemischer Gasphasenabscheidungsfilme

EP1795627 Art A1 13. Juni 2007

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1795627
Aktenzeichen: EP07000816
Anmeldetag: 29. März 2004
Veröffentlichung: 13. Juni 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/56H01L21/312H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

1.683 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von