Optisches Projektionssystem

EP1803012 Art B1 3. Juni 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1803012
Aktenzeichen: EP05802258
Anmeldetag: 1. Oktober 2005
Veröffentlichung: 3. Juni 2015
Erteilung: 3. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G03F7/20G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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