Verfahren zur Bestimmung der Aberrationskoeffizienten der Aberrationsfunktion einer teilchenoptischen Linse
EP1804272
Art B1
1. Juli 2009
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1804272
- Aktenzeichen
- EP06125369
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2009
- Erteilung
- 1. Juli 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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