Substrat-Wärmebehandlungsvorrichtung und bei der Substratwärmebehandlung Verwendete Substrattransferlade
EP1804284
Art B1
11. Mai 2016
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1804284
- Aktenzeichen
- EP05795511
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2016
- Erteilung
- 11. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/324H01L21/26H01L21/673H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Breesé, Pierre
Levallois-Perret, Frankreich
722
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32
Fachgebiete
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Weitere Vertreter
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Novagraaf Technologies
Novagraaf Technologies · Asnières-sur-Seine