Retikelschutzglied, Retikelträgervorrichtung, Belichtungseinrichtung und Retikelträgerverfahren

EP1806774 Art A1 11. Juli 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1806774
Aktenzeichen
EP05799166
Anmeldetag
24. Oktober 2005
Veröffentlichung
11. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F1/14G03F9/00H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Savic, Bojan München, Deutschland
328
Patente gesamt
20
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Pharma & Biotechnologie Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen