Verfahren und Gerät für die Niedertemperatur-Pyrometrie, die sich für die Thermische Bearbeitung von Siliciumscheiben Eignen
EP1809111
Art A2
25. Juli 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1809111
- Aktenzeichen
- EP05814904
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F27D11/00H01L21/205H05B3/68G06F19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Boult Wade Tennant LLP
Boult Wade Tennant LLP · London
-
Boult Wade Tennant
Boult Wade Tennant · London
-
Bayliss, Geoffrey Cyril
NoneLondon