Verfahren und Gerät für die Niedertemperatur-Pyrometrie, die sich für die Thermische Bearbeitung von Siliciumscheiben Eignen

EP1809111 Art A2 25. Juli 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1809111
Aktenzeichen
EP05814904
Anmeldetag
5. Oktober 2005
Veröffentlichung
25. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
F27D11/00H01L21/205H05B3/68G06F19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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