Belichtungsgerät und Belichtungsverfahren

EP1811545 Art B1 11. Januar 2017

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1811545
Aktenzeichen: EP05800365
Anmeldetag: 7. November 2005
Veröffentlichung: 11. Januar 2017
Erteilung: 11. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H05G2/00B82Y10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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