Durch Einbiegung eines Master-Stücks Gewonnene Optische Hochpräzisionsoberfläche

EP1812935 Art A2 1. August 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1812935
Aktenzeichen: EP05808702
Anmeldetag: 8. November 2005
Veröffentlichung: 1. August 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06B24B13/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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