Beleuchtungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Mikrobauelemente-Herstellungsverfahren

EP1814147 Art A1 1. August 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1814147
Aktenzeichen: EP05807103
Anmeldetag: 15. November 2005
Veröffentlichung: 1. August 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B5/10G02B19/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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