Waferbehälter mit Sekundärem Waferrückhaltesystem
EP1814804
Art A2
8. August 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1814804
- Aktenzeichen
- EP05849638
- Anmeldetag
- 23. November 2005
- Veröffentlichung
- 8. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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