Optisches Sendeelement und Objektiv für eine Belichtungsvorrichtung für Mikrolithographische Projektionen
EP1820050
Art A1
22. August 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1820050
- Aktenzeichen
- EP05824575
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 22. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B1/02C04B35/443G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte