Abscheidung einer Schutzschicht durch Sputtern mittels eines Strahls geladener Teilchen und Bearbeitung der Schicht mittels eines Strahls geladener Teilchen
EP1821146
Art A1
22. August 2007
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1821146
- Aktenzeichen
- EP07102322
- Anmeldetag
- 14. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 22. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00H01L21/3213H01J37/317C23C14/22B23K15/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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