Messmethode unter Verwendung von Terahertz-Licht

EP1826553 Art B1 7. Mai 2014

Anmelder: Tochigi Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1826553
Aktenzeichen: EP05805481
Anmeldetag: 1. November 2005
Veröffentlichung: 7. Mai 2014
Erteilung: 7. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tochigi Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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