Verfahren zur Messung der Position einer Maskenoberfläche in der Höhenrichtung und Belichtungsvorrichtung

EP1830395 Art A1 5. September 2007

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1830395
Aktenzeichen: EP05822346
Anmeldetag: 21. Dezember 2005
Veröffentlichung: 5. September 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G03B21/00G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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