Verfahren zum Erzeugen eines Vorgegebenen Innendrucks in einem Hohlraum eines Halbleiterbauelements
EP1836123
Art B1
25. Juni 2008
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1836123
- Aktenzeichen
- EP06700450
- Anmeldetag
- 4. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2008
- Erteilung
- 25. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B7/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
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