Resistzusammensetzung, Verfahren zur Formung einer Resiststruktur, Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren dafür

EP1837706 Art A1 26. September 2007

Anmelder: FUJITSU LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1837706
Aktenzeichen
EP06013346
Anmeldetag
28. Juni 2006
Veröffentlichung
26. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJITSU LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujitsu

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Kanzlei
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Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.

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