Verfahren zur Herstellung eines Bauteils mit Nanometer-Multischichten für Optische Anwendungen sowie nach Diesem Verfahren Hergestelltes Bauteil

EP1839093 Art A1 3. Oktober 2007

Anmelder: Technische Universität Dresden 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1839093
Aktenzeichen: EP06705766
Anmeldetag: 11. Januar 2006
Veröffentlichung: 3. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/20C03C17/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Technische Universität Dresden
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Technische Universität Dresden

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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