Film zur Verringerung der Rauhigkeit an der Schnittstelle zwischen einer Leiterbahn und einem Dielektrikum, Materialien für die Herstellung dieses Films und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP1840949 Art A3 14. November 2007

Anmelder: FUJITSU LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1840949
Aktenzeichen
EP07005824
Anmeldetag
21. März 2007
Veröffentlichung
14. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJITSU LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujitsu

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