Halbleiter-Herstellungsvorrichtung, Abnormitätsdetektion in einer Solchen Halbleiter-Herstellungsvorrichtung, Verfahren zum Spezifizieren der Abnormitätsursache oder zur Vorhersage von Abnormität und Aufzeichnungsmedium, Worauf ein Computerprogramm zum Ausführen eines Solchen Verfahrens Gespeichert Ist
EP1845553
Art B1
21. Oktober 2009
Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1845553
- Aktenzeichen
- EP05820365
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2009
- Erteilung
- 21. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B23/02H01L21/205C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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