Zusammensetzung zur Reinigung nach einem Chemischen-Mechanischen Polierverfahren

EP1845555 Art B8 29. Juni 2016

Anmelder: Entegris, Inc., Entergrsi, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC., ESC Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1845555
Aktenzeichen: EP07015166
Anmeldetag: 6. Februar 2002
Veröffentlichung: 29. Juni 2016
Erteilung: 29. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321C11D7/26C11D7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Entegris, Inc.
Entergrsi, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
ESC Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von