Zusammensetzung zur Reinigung nach einem Chemischen-Mechanischen Polierverfahren

EP1845555 Art B8 29. Juni 2016

Anmelder: Entegris, Inc., Entergrsi, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC., ESC Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1845555
Aktenzeichen
EP07015166
Anmeldetag
6. Februar 2002
Veröffentlichung
29. Juni 2016
Erteilung
29. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321C11D7/26C11D7/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entergrsi, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
ESC Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen