Zusammensetzungen zur Verarbeitung von Halbleitersubstraten

EP1851296 Art A1 7. November 2007

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1851296
Aktenzeichen
EP06719661
Anmeldetag
26. Januar 2006
Veröffentlichung
7. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C11D7/32C11D7/26H01L21/461C11D11/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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