Verfahren zur Herstellung Räumlicher Feinstrukturen

EP1861694 Art B1 12. Juni 2013

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1861694
Aktenzeichen: EP06723546
Anmeldetag: 20. März 2006
Veröffentlichung: 12. Juni 2013
Erteilung: 12. Juni 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G03F7/20G03F7/105G02B21/00G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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