Substratverarbeitungsvorrichtung

EP1872392 Art B1 22. Februar 2012

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1872392
Aktenzeichen
EP06732248
Anmeldetag
18. April 2006
Veröffentlichung
22. Februar 2012
Erteilung
22. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/687B24B49/00B24B9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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