Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographische Belichtungsvorrichtung
EP1875292
Art A2
9. Januar 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1875292
- Aktenzeichen
- EP06724583
- Anmeldetag
- 26. April 2006
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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Ostertag & Partner Patentanwälte mbB
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