Duschplatte und Verfahren zu Ihrer Herstellung
EP1876639
Art A1
9. Januar 2008
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, National University Corporation Tohoku Unversity, Tokyo Electron Limited (TEL) 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1876639
- Aktenzeichen
- EP06731864
- Anmeldetag
- 14. April 2006
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/455H01L21/3065B24B37/00B24B1/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
National University Corporation Tohoku Unversity
Tokyo Electron Limited (TEL) - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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