Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP1881520 Art A1 23. Januar 2008

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1881520
Aktenzeichen: EP06746084
Anmeldetag: 8. Mai 2006
Veröffentlichung: 23. Januar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B13/18G02B13/24G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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