Substrat-Lagerbehälter und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP1883105 Art B8 27. März 2013

Anmelder: Shin-Etsu Polymer Co., Ltd., Shin-Etsu Polymer Co. Ltd., SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1883105
Aktenzeichen
EP06732201
Anmeldetag
21. April 2006
Veröffentlichung
27. März 2013
Erteilung
27. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673B65D85/86
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik
Vertreten von
Andres, Mark Bremen, Deutschland
43
Patente gesamt
21
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Hochbau & Gebäudetechnik
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