Kupferpassivierende, nach dem Chemisch-Mechanischen Polieren Anzuwendendes Reinigungsmittel und Verwendung
EP1888735
Art B1
7. August 2013
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1888735
- Aktenzeichen
- EP06771152
- Anmeldetag
- 25. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 7. August 2013
- Erteilung
- 7. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C11D1/62C11D3/26C11D3/30C11D7/32C11D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
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-
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