Prägevorrichtung zum Bilden eines Musters bei Gleichförmigem Kontakt durch Zusätzlichen Konstanten Druck

EP1891662 Art A1 27. Februar 2008

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1891662
Aktenzeichen: EP06768828
Anmeldetag: 12. Juni 2006
Veröffentlichung: 27. Februar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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