Katalysatorgestütztes chemisches Verarbeitungsverfahren und entsprechende Vorrichtung

EP1894900 Art A3 24. Februar 2010

Anmelder: EBARA CORPORATION, Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1894900
Aktenzeichen: EP07016757
Anmeldetag: 27. August 2007
Veröffentlichung: 24. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C03C15/00C04B41/00C23F1/00C30B33/00H01L21/04H01L21/306H01L21/321H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: EBARA CORPORATION
Osaka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

2.434 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von