Massenspektrometer und Verwendung davon

EP1895296 Art B1 24. Juli 2013

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1895296
Aktenzeichen
EP06746538
Anmeldetag
17. Mai 2006
Veröffentlichung
24. Juli 2013
Erteilung
24. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01N27/62H01J41/10H01J49/00G01L21/30G01M3/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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