Elektronenstrahlsystem zur Aberrationskorrektur

EP1895564 Art B1 27. März 2019

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1895564
Aktenzeichen
EP07253423
Anmeldetag
30. August 2007
Veröffentlichung
27. März 2019
Erteilung
27. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/147
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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