Abätzzusammensetzung für Metallisches Material und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung damit

EP1895577 Art A1 5. März 2008

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1895577
Aktenzeichen: EP06780631
Anmeldetag: 22. Juni 2006
Veröffentlichung: 5. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/308C23F1/16H01L21/28H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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