Verfahren zur Chemischen Aufdampfung in Räumen mit Hohem Seitenverhältnis
EP1897131
Art A2
12. März 2008
Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1897131
- Aktenzeichen
- EP05806199
- Anmeldetag
- 28. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 12. März 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/36H01L21/285H01L21/768H01L21/316C23C16/48C23C16/455C23C16/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Regents of the University of California
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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