Messverfahren und -instrument unter Einsatz eines Schwingquarzes
EP1898203
Art B1
1. März 2017
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1898203
- Aktenzeichen
- EP06747076
- Anmeldetag
- 1. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 1. März 2017
- Erteilung
- 1. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N5/02G01N29/02G01N29/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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