Zusammensetzung zum Integrierten Chemisch-Mechanischen Polieren und Verfahren zur Einzelplattenbehandlung
EP1899111
Art A2
19. März 2008
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1899111
- Aktenzeichen
- EP06772376
- Anmeldetag
- 6. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 19. März 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B44C1/22C23F1/00C23F1/10H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
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