Optische Elementeinheit und Verfahren zum Stützen eines optischen Elements

EP1901101 Art A1 19. März 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1901101
Aktenzeichen: EP06120709
Anmeldetag: 14. September 2006
Veröffentlichung: 19. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G02B7/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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