Durchflussregler mit Variablem Flussbereich
Anmelder: Fujikin Incorporated, National University Corporation Tohoku Unversity, TOKYO ELECTRON LIMITED, FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1901154
- Aktenzeichen
- EP06767569
- Anmeldetag
- 22. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 19. März 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/00G01F1/00G01F1/42G01F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
National University Corporation Tohoku Unversity
TOKYO ELECTRON LIMITED
FUJIKIN INCORPORATED - Land
- 🇯🇵 Japan
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Murgitroyd wurde 1975 in Glasgow als Einzelpraxis gegründet, ging 2001 an die Londoner Börse und zählt zu Europas am schnellsten wachsenden IP-Kanzleien, mit Standorten von Großbritannien und Irland bis München, Mailand, Helsinki und dem Silicon Valley.