Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1901339 Art A1 19. März 2008

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1901339
Aktenzeichen: EP06767712
Anmeldetag: 30. Juni 2006
Veröffentlichung: 19. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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