Sputtertarget zur Bildung von Phasenwechselfilmen und Verfahren zur Herstellung des Targets

EP1903122 Art A1 26. März 2008

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1903122
Aktenzeichen
EP06768031
Anmeldetag
10. Juli 2006
Veröffentlichung
26. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34B22F9/04C22C1/04C22C28/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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