Anordnung mit Vakuumgerät und Verfahren zu deren Betrieb

EP1903530 Art B1 22. Juli 2020

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1903530
Aktenzeichen
EP07017431
Anmeldetag
6. September 2007
Veröffentlichung
22. Juli 2020
Erteilung
22. Juli 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G08C19/00G08C17/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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