Verfahren und Vorrichtung zur Elektrostatischen Fixierung von Substraten mit Polarisierbaren Molekülen
EP1905071
Art B1
13. April 2011
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1905071
- Aktenzeichen
- EP07723509
- Anmeldetag
- 22. März 2007
- Veröffentlichung
- 13. April 2011
- Erteilung
- 13. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
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