Sputtervorrichtung und -Verfahren zur Herstellung eines Transparenten Leitfähigen Films
EP1905865
Art B1
9. April 2014
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1905865
- Aktenzeichen
- EP06768138
- Anmeldetag
- 12. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 9. April 2014
- Erteilung
- 9. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C23C14/08H01B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
21.622
Patente gesamt
9
Patentanwälte
1
Standorte