Abstreifer mit Acetal oder Ketal zur Entfernung nach einem Ätzvorgang verbleibenden Photoresists, Ätzpolymers und sonstiger Reste
EP1914296
Art B1
16. März 2011
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1914296
- Aktenzeichen
- EP07118852
- Anmeldetag
- 19. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 16. März 2011
- Erteilung
- 16. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
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