Aberrationskorrektor und Verfahren für Aberrationskorrektur

EP1914785 Art B1 14. September 2016

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1914785
Aktenzeichen
EP07254102
Anmeldetag
17. Oktober 2007
Veröffentlichung
14. September 2016
Erteilung
14. September 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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