Siliziumbeschichtung mit Niedriger Dielektrizitätskonstante, Herstellungsverfahren dafür und deren Anwendung für Integrierte Schaltungen

EP1915435 Art B1 18. November 2009

Anmelder: Bluestar Silicones France SAS, Bluestar Silicones France, RHODIA CHIMIE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1915435
Aktenzeichen
EP06792850
Anmeldetag
16. August 2006
Veröffentlichung
18. November 2009
Erteilung
18. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C09D183/04H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Bluestar Silicones France SAS
Bluestar Silicones France
RHODIA CHIMIE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Rhodia

Französisches Spezialchemieunternehmen, das Feinchemikalien und Polymere herstellt und seit der Übernahme 2011 zum belgischen Solvay-Konzern gehört.

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