Siliziumbeschichtung mit Niedriger Dielektrizitätskonstante, Herstellungsverfahren dafür und deren Anwendung für Integrierte Schaltungen
EP1915435
Art B1
18. November 2009
Anmelder: Bluestar Silicones France SAS, Bluestar Silicones France, RHODIA CHIMIE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1915435
- Aktenzeichen
- EP06792850
- Anmeldetag
- 16. August 2006
- Veröffentlichung
- 18. November 2009
- Erteilung
- 18. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09D183/04H01L21/312
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Bluestar Silicones France SAS
Bluestar Silicones France
RHODIA CHIMIE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Rhodia
Französisches Spezialchemieunternehmen, das Feinchemikalien und Polymere herstellt und seit der Übernahme 2011 zum belgischen Solvay-Konzern gehört.
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Vertreten von
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