Verfahren zur Entfernung Ionischer Verunreinigungen von der Oberfläche eines Werkstücks
Anmelder: MKS IP Association, ATOTECH Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1917340
- Aktenzeichen
- EP06791636
- Anmeldetag
- 21. August 2006
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Erteilung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D11/00H05K3/26G03F7/42H01L21/306C11D7/32C11D7/26C11D7/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
ATOTECH Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
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Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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