Material mit niedriger Dielektrizitätskonstante und Verfahren zu dessen Bearbeitung durch CVD

EP1918415 Art A1 7. Mai 2008

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1918415
Aktenzeichen: EP08150783
Anmeldetag: 5. Dezember 2003
Veröffentlichung: 7. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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