Vorrichtung zur Bereitstellung einer Schutzschicht zur Bearbeitung eines geladenen Teilchenstrahls
EP1918981
Art B1
16. Februar 2011
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1918981
- Aktenzeichen
- EP07119686
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2011
- Erteilung
- 16. Februar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01J37/317// H01J37/26H01J37/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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