Echtzeit-Überwachung und Steuerung der Sputter-Target-Erosion
EP1920214
Art B1
12. September 2012
Anmelder: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1920214
- Aktenzeichen
- EP06787886
- Anmeldetag
- 19. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 12. September 2012
- Erteilung
- 12. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34G01B17/02G01N29/07H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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